X熒光光譜儀廣泛應用于眾多領域，因為它的優點有很多，如分析快速、制樣簡單，準確度高、對環境無污染等成為了不可或缺的設備。X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發系統，主要部件為X射線管，分光系統，探測系統，儀器控制和數據處理系統。

X熒光光譜儀中有一個很小零部件，它就是濾光片。專業的講使用濾光片的目的是消除或降低X射線管發射的原級X射線譜，尤其是靶材的特征X射線譜對待測元素的干擾，可改善峰背比，提高分析的靈敏度。

一般來說，我們把能量色散X射線熒光分析儀有兩種類型的濾光片：初級濾光片和次級濾光片。他們二者的放置位置是不同的哦，所以目的作用也不同。

初級濾光片是將濾光片置于光管和樣品間，其目的是為得到單色性更好的輻射和降低待分析元素譜感興趣區內的由原級譜散射引起的背景。

次級濾光片是將濾光片置于樣品和探測器之間，主要是對試樣中產生的多元素X射線熒光譜線進行能量選擇，提高待測元素的測量精度。